ዋና ዋና ባህሪያት:
A9 ተከታታይ ሞዴሎች እና ዝርዝር መግለጫዎች
| ሞዴል | አ932 | አ942 | አ952 | አ972 |
| ቮልቴጅ | 380V/50HZ | |||
| ኃይል (KW) | 3.0 | 4.0 | 5.5 | 7.5 |
| ቫኩም(ኤምአር) | 260 | 260 | 300 | 320 |
| የአየር ፍሰት (ሜ 3 በሰዓት) | 320 | 420 | 530 | 530 |
| ጫጫታ(ዲቢኤ) | 69 | 70 | 70 | 71 |
| የታንክ አቅም | 100 ሊ | |||
| የማጣሪያ ዓይነት | HEPA ማጣሪያ “TORAY” ፖሊስተር | |||
| የማጣሪያ ቅልጥፍና | > 99.5%@0.3um | |||
| የማጣሪያ ቦታ | 3 ሜ 2 | |||
| የማጣሪያ ማጽዳት | የጄት ምት ማጣሪያ ንጹህ ስርዓት | |||
| ልኬት(ሚሜ) | 610X1080X1470 | |||
| ክብደት (ኪግ) | 126 | 146 | 169 | 173 |